製å“å:イットリウムスパッタリングターゲット
製å“愛称:イットリウムターゲットã€Yターゲットã€ã‚¤ãƒƒãƒˆãƒªã‚¦ãƒ ターゲットアセンブリ
色: シルãƒãƒ¼
èžç‚¹: 1522度
沸点:3338度
密度: 4.47 g/cm3
純度:Y/TREM 99.99%以上 TREM 99.9%以上
Density: >99.5%
å¹³å‡ç²’径:
指示粗ã•ï¼š
仕様:平é¢ã‚¿ãƒ¼ã‚²ãƒƒãƒˆã€å††å½¢ã‚¿ãƒ¼ã‚²ãƒƒãƒˆã€å›žè»¢ã‚¿ãƒ¼ã‚²ãƒƒãƒˆï¼ˆã‚µã‚¤ã‚ºã¯ãŠå®¢æ§˜ã®è¦ä»¶ã«å¿œã˜ã¦ã‚«ã‚¹ã‚¿ãƒžã‚¤ã‚ºå¯èƒ½ï¼‰
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